中微公司：刻蚀设备反应台全球累计出货超5000台
摘要：
36 氪获悉，中微公司宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过 5000 台。包括 CCP 高能等离子体刻蚀机和 ICP 低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器... 36 氪获悉，中微公司宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过 5000 台。包括 CCP 高能等离子体刻蚀机和 ICP 低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器共四种构型的设备。CCP 设备在线累计装机量近四年年均增长大于 37%，已突破 4000 个反应台；ICP 设备在线累计装机量近四年年均增长大于 100%，已突破 1000 个反应台。截至 2025 年 2 月底，公司累计已有超过 5400 个反应台在国内外 130 多条生产线。
