中微公司：刻蚀设备反应台全球累计出货超5000台 36 氪获悉，中微公司宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过 5000 台。包括 CCP 高能等离子体刻蚀机和 ICP 低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器共四种构型的设备。CCP 设备在线累计装机量近四年年均增长大于 37%，已突破...
